Ø主要技术参数如下:
样品室:四维电动(含上位机软件及计算机一套);
最小步长:~300 nm (0.3µm);
光束聚焦: <10µm;
物镜WD: 可定制;
工作电压:220 V,50-60 Hz;
尺寸(宽宽,约):~45x 60 x 48 cm ;
重量(约): ~ 58 kg (含位移上位机控制器系统) ;
激光器波长:常规选用1064nm,主要用于切割金属垫片;
平均功率: >80 mW;
重复频率:1-3000Hz ;
脉冲长度:可调 ;
短期稳定性:< 1% ;
长期稳定性:3%;
温度:20-35℃;
最大功率:<120 W;
保修期:2年。